| 1. 면저항
(ohm/sq = Ω/□ = Sheet resistance)이란? |
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면저항은 단위 ohm/sq로 표시됩니다. 여기서 sq는 ㅁ로도 표시되며,
미터법(cm2 등)이 아닌 별도의 단위로서, 무한대의 면적으로 해석하는 것이 일반적입니다.
선저항은 두개의 probe로 임의의 거리에 대한 저항을 측정하지만, 면저항의 경우에는
동일한 간격의 4개탐침으로 측정하게 됩니다.
이때 쓰이는 Probe가 4-point probe이고, 일반적으로 탐침은 1mm간격으로
일렬구성된 probe를 사용하며, 4개의 탐침으로 전류와 전압을 측정하여, 저항값을 구한
후, 면저항 단위인 ohm/sq로 계산하기 위해 보정계수(C.F)를 적용합니다.
면저항값은 Wafer, LCD, 태양전지(Solar cell), 연료전지, OLED 등의 벌크 및 박막의 전도성을
검사하기 위하여 쓰입니다. |
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V/I =
ohm
ohm × C.F = ohm/sq |
| 2. 비저항(ohm·cm)이란? |
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비저항은 물질의 고유저항으로서 순수물질의 경우에는 그 비저항값이 알려져 있지만,
혼합물의 경우 여러가지 방법에 의하여 구할 수 있습니다. 4-point probe방식의 면저항측정기를
이용할 경우 박막의 두께를 알고 있어야 하고, 다음 식으로 구할 수 있습니다. |
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ohm/sq
× Thickness(cm) = ohm·cm |
| 3. 금속의 박막두께측정도 가능한가? |
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면저항값(ohm/sq)을 이용한 금속박막두께 계산법은 위의 비저항(ohm·cm)값을 이용하는 것인데, 이는
이미 비저항값을 알고 있는 재료일 경우에 가능합니다. |
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Thickness(cm)
= ohm·cm ÷ ohm/sq |
| 4. 보정계수(Correction
Factor)란? |
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면저항값을 계산하기 위해서는 4-point probe로 측정한 저항값(ohm)에 보정계수를 적용해야합니다.
보정계수는 Sample size와 박막의 두께, 그리고 측정 시 온도까지 3가지 계수를 이용하여 산출됩니다.
Sample size 계수는 40mm이상의 직경의 Sample일 경우 4.532이고, 박막두께계수는 박막두께가
약400um이하 일 때 1이며, 온도는 Sample의 온도계수에 따라 약간의 변화가 있지만 약23°C일 때
1에 가깝습니다. 이 조건으로 보정계수를 계산하여 보면 다음과 같습니다.
물론 위 조건에 적합하지 않을 경우에는 그에 해당하는 적절한 보정계수를 적용해야 하며,
CMT시리즈는 S/W를 이용하여 적절한 보정계수를 적용할 수 있습니다. |
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C.F =
cf1 × cf2 × cf3
4.532 = 4.532 × 1 × 1 |
| 5. 4-Point Probe Head는? |
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4-point probe Head는 Four point probe, 4탐침 등의 이름으로 불리우고 있습니다.
탐침(Probe tip)을 4개 장착하여 면저항측정용으로 사용하는 probe를 일컫는 말입니다.
보통은 1mm간격이며 일렬(Linear type)로 탐침을 정렬시킨 것을 이용합니다.
이외에는 탐침을 정방형으로 나열시킨 Squre type의 Hall
probe와 고온까지 견딜 수 있도록 특수제작 된 고온용 Probe가 있습니다.
세계적으로 JANDEL社의 Probe Head가 고가이지만, 내구성과 정밀도 및 안정성에 있어서 인정 받고 있습니다.
면저항측정기에서 가장 중요한 소모품으로 장비 선택 시 반드시 고려해야 할 부분입니다. |
| 6. 절연체
고저항 측정은? |
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여기서 절연체라 함은 대전방지소재 및 플라스틱 가공물 등의 저항값이 107 ohm/sq
이상 되는 Sample을 의미합니다. 107 ohm/sq 이상의 고저항은
높은 전압을 이용하기 때문에 4 point probe 방식으로는 측정이 힘들어,
보통은 rail type 이나 2 probe방식 또는 Circle type의 Probe를 이용합니다.
4 Point probe system과 같이 표면저항측정기라 불리기도하지만
고저항측정기라고도 부르며 당사에서는 취급하고 있지 않습니다. |
| 7. 4-point probe system의 검교정은?
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4-point probe system은 일반적이고 보편화된 계측기가 아니기 때문에 검교정 할 수 있는
국내 교정기관은 극히 드물어 대부분 업체에서 제조사 검교정으로 대체하고 있습니다.
당사는 정밀저항과 NIST(미국국립표준기술연) 또는 KRISS(한국표준과학연)의 인증물질(Standard wafer)을 이용하여
교정을 실시하고 있어, 국내는 물론 해외 사용자까지 고려한 교정을 실시하고 있습니다.
당사는 사용자 요청 시에 저렴한 교정비용으로 항상 정확한 Data를 유지할 수 있도록 지속적인 기술지원을 하고 있습니다. |
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